Pembersihan & Permukaan PresisiPerlakuan
Kami mengkhususkan diri dalam menyediakan solusi pembersihan dan perawatan permukaan profesional untuk teknologi proses canggih. Dengan mengintegrasikan sumber daya dari mitra strategis dalam industri, kami berkolaborasi untuk memberikan dukungan layanan komprehensif kepada pelanggan kami. Mitra kami memiliki pengalaman praktis lebih dari 20 tahun di bidang semikonduktor, dengan tim yang dilengkapi dengan keahlian teknis yang mencakup node 14nm. Mereka mampu menyediakan layanan pembersihan dan perawatan permukaan secara andal untuk pabrik wafer berukuran 8 inci dan 12 inci, yang mencakup proses seperti Deposisi Uap Fisik (PVD), Deposisi Uap Kimia (CVD), Etsa, dan Implantasi Ion.
Bertindak sebagai jembatan layanan, kami memanfaatkan sistem manajemen kualitas yang matang dan kemampuan layanan responsif dari mitra kami untuk membantu pelanggan manufaktur sirkuit terpadu dan semikonduktor luas mengatasi tantangan kontrol kualitas dan proses yang ketat, memberikan dukungan layanan yang efisien dan stabil.
Studi Kasus Pembersihan Presisi
Pengujian sampel setelah pencucian presisi, tingkat partikel dan tingkat residu ion logam di permukaan harus memenuhi persyaratan proses 28nm saat ini.
-
Sebelum -
Setelah
-
Sebelum -
Setelah
-
Sebelum -
Setelah
-
Sebelum -
Setelah
Proses Pembersihan & Rekondisi yang Presisi
-
Inspeksi Masuk
Inspeksi Masuk
Periksa tampilan, spesifikasi, dan kerusakan.
-
Penyamaran
Penyamaran
Lindungi area-yang tidak memerlukan perawatan dari korosi.
-
Pengupasan Kimia
Pengupasan Kimia
Hapus lapisan lama dengan tepat.
-
Membilas / Merendam
Membilas / Merendam
Hilangkan residu kimia dengan air murni.
-
Penyamaran
Penyamaran
Lindungi area dari sandblasting.
-
Peledakan pasir
Peledakan pasir
Sesuaikan parameter untuk mencapai kekasaran target.
-
Ukuran & Inspeksi
Ukuran & Inspeksi
Ukur dan perbaiki dimensi untuk memenuhi spesifikasi.
-
Penyemprotan Termal
Penyemprotan Termal
Aplikasikan-pelapis tahan aus melalui Arc atau Plasma.
-
Pencucian-Bertekanan Tinggi
Pencucian-Bertekanan Tinggi
Hapus partikel permukaan besar.
-
Pembersihan Ultrasonik
Pembersihan Ultrasonik
Lakukan pembersihan presisi untuk menghilangkan partikel halus.
-
Pengeringan Ruang Bersih
Pengeringan Ruang Bersih
Keringkan komponen secara menyeluruh dalam oven ruang bersih Kelas 100.
-
Inspeksi Akhir
Inspeksi Akhir
Lakukan pemeriksaan menyeluruh untuk memastikan kepatuhan.
-
Kemasan
Kemasan
Komponen paket vakum sesuai kebutuhan pelanggan.
-
Audit Pengiriman
Audit Pengiriman
Verifikasi kuantitas dan integritas kemasan.
-
Pengiriman Akhir
Pengiriman Akhir
Hasilkan laporan dan kirimkan.
Kemampuan Pelayanan
► 5000m2(55.000 kaki persegi) area bengkel bersih.
► Kemampuan perawatan lebih dari 5.0000 lembar/bulan.
► 365 hari layanan berkelanjutan dan efisien.
► Beda produk, beda proses.
►8 jalur pemrosesan terkemuka termasuk teknologi:
- Pembersihan/pengupasan kimia, Pengupasan fisik
- Semprotan ARC-, Semprotan plasma, Pelapisan, Pembuatan Tekstur, Pembersihan dan pengemasan vakum, perombakan, dll.
Kemampuan Teknis
► Proses: proses lanjutan 14nm
► Ruang lingkup layanan: komponen semikonduktor 4 inci, 6 inci, 12 inci
► Proses pelayanan: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Kontrol kualitas yang ketat:-Teknologi pembersihan presisi berstandar tinggi